錦州和力真空冶金工業(yè)有限公司
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真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。
確認(rèn)加熱電源已停止。
爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時(shí),應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請(qǐng)繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來(lái)。
冷卻水發(fā)生異常時(shí),設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。
停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間,則將設(shè)備保持原狀。
如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)。
在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí),如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
真空排氣時(shí)間比通常長(zhǎng)時(shí),應(yīng)把設(shè)備停下來(lái)進(jìn)行檢查,根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響,也有導(dǎo)致壓力升高的情況。
通過壓力上升測(cè)試或者用氦氣檢漏來(lái)確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。
在真空和保護(hù)性氣氛中,對(duì)金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié),要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí),一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無(wú)壓燒結(jié)。
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